Zum Betrieb des Reinraumlabors ist eine sehr umfangreiche Haustechnik erforderlich. Einige Anlagen sollen hier kurz vorgestellt werden:
Gassteueranlage
Im Zentralen Reinraumlabor können 18 verschiedene technische Gase genutzt weerden, aktuell kommen davon 14 zum Einsatz. Die Überwachung und Steuerung geschieht mit einer Gassteuer- und Gaswarnanlage, die über zahlreiche Sensoren verfügt. Bei detektierter Leckage erfolgt eine sofortige Abschaltung, die Gefährdungen für Mitarbeiter und Umwelt ausschließt.
Abgas-Nachverbrennungsanlage
In der Prozessabluft einiger Abscheide- und Ätzanlagen sind Stoffe enthalten, die nicht in die Umwelt gelangen dürfen und eine spezielle Nachbehandlung erfordern. Diese Abgase werden in eine sehr heiße Flamme eingeleitet und verbrannt. Durch nachfolgendes Auswaschen mit verdünnter Lauge wird die Abtrennung der Verbrennungsrückstände sichergestellt.
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Einige Prozesse erfordern zum Teil hohe Abluft-Volumenströme. Zur Recourcenschonung sind die Lüftungsanlagen mit Wärme-Rückgewinnungssystemen ausgestattet.
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Die Prozessabluft aus der Nasschemie gelangt zur Reinigung über einen Nasswäscher. Dessen Abwässer und die aus chemischen Verfahren werden in einer zentralen Neutralisationsanlage aufbereitet.
